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张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项采购项目国际竞争性招标公开招标公告

  上海国际招标有限公司受中国科学院上海高等研究院委托,根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定,现对张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发 CMP化学机械抛光设备、快速退火系统RTP1和Tilt扫描电镜设备采购项目国际竞争性招标进行公开招标,欢迎合格的供应商前来投标。

 

项目名称:张江实验室(中国科学院上海高等研究院)硅光子市级重大专项200mm硅光中试平台拓展和成套工艺开发 CMP化学机械抛光设备、快速退火系统RTP1和Tilt扫描电镜设备采购项目国际竞争性招标

项目编号:0705-194118101818

项目联系方式:

项目联系人:赵丽莉

项目联系电话:021-62791919*135

 

 

采购单位联系方式:

采购单位:中国科学院上海高等研究院

 

地址:上海市浦东新区海科路99号

联系方式:陈洁21-20325067

 

 

代理机构联系方式:

代理机构:上海国际招标有限公司

代理机构联系人:赵丽莉、86-21-62791919×135

代理机构地址: 中国上海延安西路358号美丽园大厦14、20楼

 

 

 

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍:

 

 

序号

货物名称

简要技术说明

数量

交货期

1

CMP化学机械抛光设备

工艺方式:干进干出

高抛光速率:>3000A/min

低抛光速率:<200A/min

抛光片内非均匀性:<3%

片与片抛光速率变动:<3%

抛光后表面颗粒:<10

1台/套

2019年6月1日

2

快速退火系统

加热方式:灯管加热

控温范围:400°C – 1150°C

瞬时退火峰值温度时长:<2秒

升温速率:> 150oC每秒

降温速率:> 50oC每秒

控温精度:+/- 5oC

升降温:可控式

配有氧气水平检测传感器

1台/套

2019年6月1日

3

Tilt扫描电镜_Tilt SEM

承片台旋转角度:0o, 45o, 90o,180o

承片台倾斜角度:5o-45o

需要EDX元素检测功能

EDX加速电压:5kV - 10kV

EDX分辨率:138eV@Mn 5KeV;

82eV@F 5KeV

需有增强型电压对比成像模式

需有增强型高宽比成像模式

需晶圆倾斜观测

1台/套

2019年6月1日

 

 

 

二、投标人的资格要求:

1) 投标人须是投标货物的制造商,或是再制造企业,或是取得有效授权的代理商。(若是再制造企业,应当具备再制造生产所需的必备条件(见质检检函[2008]109号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”),并向所在地检验检疫机构申请登记;若是代理商,须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面唯一授权书及售后服务授权书。);2) 投标货物可以是全新设备,也可以是再制造后的旧设备,但不可以是改造设备,投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明(若为旧设备,须提供设备的生产年份和序列号,且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求,通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。);3) 投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台(以下简称电子交易平台,网址为:http://www.chinabidding.com)上完成有效注册(由于电子交易平台的注册审核需要一定时间,如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态,以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标);4) 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织(须提供营业执照或其他相关登记证明文件);5) 投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录,无利用不正当竞争手段骗取中标,无重大经济刑事案件,未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉(须提供承诺书);6) 投标人应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力,投标人须具有CMP化学机械抛光设备、快速退火系统、Tilt扫描电镜的整机直接供货和装机经验(须提供机台验收证明文件或用户证明文件);7) 投标人提供的投标货物必须为自有机台,须提供自有机台真实性证明(机台所属证明,down-payment,不接受LOI),投标人须在招标人提出要求后的3天内接受招标人对机台真实性的现场查验;8) 本项目不接受联合体投标。

 

三、招标文件的发售时间及地点等:

预算金额:3570.0 万元(人民币)

时间:2019年04月02日 16:43 至 2019年04月10日 16:00(双休日及法定节假日除外)

地点:中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼

招标文件售价:¥1000.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

招标文件获取方式:至现场购买

 

四、投标截止时间:2019年04月24日 15:30

五、开标时间:2019年04月24日 15:30

六、开标地点:

中国上海延安西路358号美丽园大厦19楼会议室(详见电子屏幕)

 

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