序号

设备名称

参数

单位

数量

是否进口

1

可变真空超高分辨场发射扫描电镜及配套设备

（一）  设备名称、型号、数量

名称：扫描电子显微镜及配套设备  

数量：1套

（二）  用途及基本要求：

可变真空超高分辨场发射扫描电镜及配套设备主要用于材料的高分辨微观形貌表征和微区分析研究。原装进口采用国际最先进设计技术制造，具有性能卓越的电子光学系统和信号探测系统，对磁性样品，导电性不好的样品及生物样品等适用性更强。设备要求操作简洁、使用维护简单、操作者经过培训能很快掌握。可实现与能谱仪最佳匹配，并满足各自的技术指标。同时要求，可靠性好，性能稳定，消耗少，运行使用成本低，售后服务好。

（三）技术参数和功能要求

（1）可变真空超高分辨场发射扫描电镜技术参数要求

1．工作条件:

1.1电源: 230V (-6%/+10%) / 50Hz (±1%)

1.2 主机功耗：< 3.0 kVA

1.3运行环境温度: 17-23°C

1.4运行环境：相对湿度 < 80% (无冷凝)

1.5残余交流磁场 <100nT (非同步频率)；<300nT (同步频率)

1.6噪音：< 60 dBC

1.7干燥无油压缩空气 4-6 bar

1.8仪器运行的持久性：可连续运行

2．设备用途：

2.1高分辨扫描电子显微分析系统主要用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。

3．技术规格

3.1 电子光学系统

3.1.1 分辨率（平均值统计法）：

3.1.1.1* 高真空成像分辨率：

≤0.7nm @15kV

≤1.0nm @1kV（非减速模式)

≤0.8nm @1kV（减速模式)

≤0.9nm @500V

≤1.8nm @100V

3.1.1.2* 低真空成像分辨率：

≤1.0nm @15kV

≤1.8nm @3kV

3.1.1.3* 10mm日常工作距离分辨率，以满足EDS能谱分析要求：

≤1.0nm @1kV

3.1.3 放大倍率范围：20 ～ 1,000,000倍 (根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准)

3.1.4 发射电压：200V 至 30kV；着陆电压：20V至 30 kV，配置减速模式

3.1.5 电子枪：高稳定度Schottky肖特基场发射电子枪

3.1.6*电子束流：1 pA ～ 400 nA，连续可调，配备电流测量装置

3.1.7 束流稳定性：每10小时 < 0.4%

3.1.8  60°锥度物镜几何设计，双物镜系统

3.1.9* 自动式物镜光阑：物镜光阑应能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。自动光阑，无需人工参与

3.1.10 电子枪维护可以自动烘烤、自动启动。

3.1.11 系统对中、合轴：全自动

3.1.12 电子束位移范围：不小于±20um

3.2 样品室和样品台

3.2.1*样品室内宽：340mm * 340mm，最大样品尺寸不小于120mm

3.2.2 分析工作距离10mm

3.2.3 不少于12个探测器/附件接口（所有端口程序均免费开放，可安装能谱、波谱、EBSD、CL、STEM探头、红外探头、纳米机械手等等）

3.2.4*五轴马达驱动优中心样品台：

X/Y ≥110mm；Z ≥ 65mm；T = -15°～ +90°；R = 360°连续旋转；步进进度优于100nm，样品台最大承重量2.0 kg，新型多样品台 (可放置截面观察，预倾斜以及STEM样品) , 以满足高通量实验需求。

3.3* 检测器：

3.3.1 样品室内二次电子检测器

3.3.2 样品室可伸缩式背散射电子检测器

3.3.3 样品室低真空二次电子检测器

3.3.4镜筒内高位二次电子检测器

3.3.5镜筒内低位二次电子检测器

3.3.6镜筒内背散射电子检测器

3.3.7 大视野导航光学信号检测器

3.3.8光学导航探头检测器

3.3.9样品室IR-CCD相机

3.4 真空系统

3.4.1完全无油真空系统

3.4.2 一个220L/S的涡轮分子泵和两个离子泵

3.4.3 一个涡旋泵

3.4.4 样品室真空度：优于6×10-6 mBar （72 小时抽气后）；

3.4.5 抽真空时间：≤ 3.5分钟

3.4.6保护：自动真空抽气及诊断系统,具有断电、缺水、失真空保护系统

3.4.7*防污染装置：一体化等离子清洗器，等离子清洗与电镜为同一品牌，可由电镜直接控制等离子强度，以免对探头造成损害。

3.5 数字图像处理系统

3.5.1图像扫描：100%数字化扫描，最大扫描和成像6144 x 4096像素

3.5.2电子束驻留时间：0.050 – 25,000μs / 像素

3.5.3配置的探测器信号放大器通道4个，既能实现同一个显示屏上单个活动窗口全屏显示某一探测器的图像信号，又能在同一显示屏上多个活动窗口（最多不少于4个窗口）同时并列显示不同探测器的图像信号，图像信号可相互实时切换，互不干扰

3.5.5 图像记录：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可选

3.5.6控制系统：提供完整的系统操作控制系统和智能扫描软件，具有：至少256幅的平均或积分，线积分或平均，隔行扫描，漂移补偿幅积分，伪彩色功能，实时存储图像，图像处理(反像, Gamma，平滑，锐化，增强等)，图像旋转等

3.6 控制和数据处理系统

3.6.1 电镜控制器，最低配置要求：国际主流品牌HP计算机工作站，Intel Xeon 四核3.0 GHz以上CPU；DDRIII 16.0GB内存；2000GB硬盘；1G独立专业图像显卡；DVD刻录机；一台1920×1200分辨率的24” LCD显示器

3.6.2 Windows 7的64位图形操作系统

3.6.3 操作方式：键盘、鼠标

3.7 标准应用软件

3.7.1 具有样品台图像导航功能

3.7.2 具有双击鼠标移动样品功能

3.7.3 具有鼠标拖曳式放大及对中功能

3.7.4具备操作导航功能，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作

3.7.5具备撤销/恢复某一个步骤的功能，鼓励使用者放心实验

3.7.6具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探头种类）

3.7.7具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）

3.7.8具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等

3.7.9提供内嵌式的实时帮助文件，保证操作者的使用直观便捷化。

3.8 标准附件单元

3.8.1 采用比空气冷却更高效、更精准控制的水冷内循环系统，分别用于冷却扫描电镜镜筒及其它部件，高效散热，保证长期使用

3.8.2 电压要求：200 – 230 VAC, 50/60 Hz

3.8.3 温度调节控制范围：+ 5C ～ + 40C

3.8.4 控温精度：0.1C

3.8.5 容量：不小于5L

3.8.6 配有进口空压机一套

（2）能谱仪技术要求

1*、能谱探测器：采用Si3N4新型SDD探测器窗口，坚固耐用，晶体有效活区面积≥30mm2，X射线信号透过率比传统的聚合物材料提高30%。

2*、Si3N4新型窗口耐高压大于8个大气压， 耐高温大于650摄氏度。

3* 脉冲谱仪处理板集成在探测器内，无需独立的谱仪箱，能谱仪硬件除了探测器和计算机无需其他部件。

4、分析元素范围：Be4~U92

5、能量分辨率(Mn-Ka)：优于127eV, 严格依照ISO15632国际标准测量

6、优异的低能端分辨率： Al Lα to Al Kα 峰比率1:1

7、 最大输入计数率 200万CPS，最大输出计数率85万CPS。

8、分析平台：支持包括中文在内的多国语言的智能微观分析平台，直观易用，并通过诸多智能特点和功能实现更人性化的操作，例如

8.1、智能元素面分布：在快速扫描的同时，实时自动识别化学元素并给出其面分布

8.2、专家峰识别（ExpertID）：基于物理原理的高级峰识别技术，对叠峰和痕量元素识别更准确

8.3、智能跟踪：实时跟踪系统状态，确保其始终处于最佳条件

8.4、智能数据复查：方便提取数据和重构面分布

9、智能定性分析：基于物理原理的定性分析技术——专家型峰识别（Expert ID）

10、智能定量分析：针对具体应用，有不同的定量方法供选择：

10.1、eZAF定量方法，增强基体校正，适合平整的表面，样品倾斜范围扩展到70度，从而支持EBSD分析条件下的定量分析。

10.2、PaBaZAF定量方法，考虑了样品表面斜度对定量结果的影响，适合粗糙样品或颗粒样品的定量分析。

11、计算机(最低配置)：原装进口工作站，CPU/Intel I7-6700 4.0GHz，16GB内存，2TB硬盘；SATA SuperMulti DVD 读写光驱，24” LCD显示器;

（3）离子溅射仪技术要求

1.样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构

2*.样品台：可放置12个标准SEM样品座，高度可在 60mm内调节

3.溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最大180A，配有过流保护

4.溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制

5.溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩(配Pt靶2个)

6*. 配套膜厚控制单元1元，范围0～30 nm

（4）临界点干燥仪技术要求

1. 当CO2在特定的温度和压强下，气相和液相界面消失，达到临界状态。使浸泡在有机试剂中的样品过渡到CO2中，在其临界状态下干燥样品，从而达到完好保存样品外观结构的目的，以适宜于扫描电镜观察

2. 样品室：φ60×62mm，容积175ml，配填充板，将容积降至30ml，有效降低CO2消耗量。

3. 样品室设计：顶部和前部有视窗，螺旋盖封闭设计，带有探测器；如样品室未关牢，系统会自动报警。

4 样品室照明：LED照明，亮度可调。

5. 操作控制：触摸屏设计，自动控制：样品室温度、CO2灌注速率、置换速率、样品室加热速率、CO2出气速率都由用户预先设定。用户可编程存储，有效提高重复性。

6.温度控制范围：制冷5－25℃可调，加热30－40℃可调，最大允许45℃

7.压强范围：1－80bar可调，最大安全压强150bar

8.CO2灌注速率：快、中、慢三档可调

9.置换速率：1－10共10档可调

10. 加热速率：快、中、慢三档可调

11. CO2出气速率：快、中、慢三档可调。慢档具有高级模式，可选极慢速，20－100%可调。

12. 具有延时预约功能。

13.系统自动计算所需时间，程序完成后报警提示。

14. CO2气瓶内气体用完，系统会自动报警提示，关闭阀门。

★15. 废气处理：带有废气分离装置，容积2L，环保。

 (四)产品配置要求

（1）可变真空超高分辨场发射扫描电镜配置要求

1 主机系统                                                          一套

2 电镜控制计算机                                         一套

3 电镜用24寸液晶显示器                              一台

4 样品室内二次电子检测器                               一个

5 样品室可伸缩式背散射电子检测器                一个

6 样品室低真空二次电子检测器                     一个

7 镜筒内低位二次电子检测器                               一个

8 镜筒内高位二次电子检测器                               一个

9镜筒内背散射电子检测器                                一个

10光学导航探头检测器                                      一个

11样品室IR-CCD相机                                       一个

12冷却循环水（内循环）                                     一台

13进口高分辨测试标准样品                              一个

14其它必备备品备件                                            一套

15延迟1小时UPS电源                    一套

16扩展工作台                                              二套

    17 扩展显示器                                                  一套

18 简易控制台                              一套

（2）配套设备配置要求

1.原装进口能谱仪                                一套

2.原装进口离子溅射仪（配铂金靶材2个，膜厚控制单元）一套

3. 原装进口临界点干燥仪（配套试剂）              一套

4.电镜耗材 一套（见如下清单）

（五） 其他要求

1. 设备至少提供一年质保，质保期内维修人工费及零部件费用全免。对于质保期内正常使用而主要部件出现问题者须在48个小时内到现场解决问题。

2.在国内设有固定维修站，并配备专业维修工程师，能提供及时有效的售后服务。

3. 在用户现场对用户进行培训，投标方对培训效果负责，电镜、能谱培训时间不少于5天。

4. 在质保期内，因属产品质量问题，卖方维修人员如不能排除故障，或调整后仍达不到设备质量要求，该产品应可退换。

5. 在质保期结束前，卖方须到用户现场对本设备进行一次免费的全面调整和维护保养，并保证设备精度符合出厂标准。

6. 软件升级：在硬件支持的情况下，免费提供软件升级。

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