一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

采购项目的名称：材料电镜制样系统
数量：一套
简要技术规格：
1 凹坑仪
1.1 研磨载荷范围不小于0~40g，精度≤5g。
1.2 研磨速度可控。
1.3 ★厚度控制精度≤1μm。
2 离子减薄仪
2.1 离子源
2.1.1 ★离子枪：两把离子枪，聚焦离子束设计，无需水冷。
2.1.2 离子束能量：调节范围不小于0.1kV~8kV。
2.2 样品台
2.2.1 样品台旋转：转速调节范围不小于1~6rpm。
2.2.2 ★样品台移动：样品台可以实现X和Y方向的移动，移动范围不小于+/- 0.5mm。
2.3 真空系统
2.3.1 无油机械泵加分子泵两级真空系统，最高真空度≤5×10-6Torr。
2.4 冷台部分
2.4.1 ★带有液氮冷台，以及控温系统。
2.5 控制部分
2.5.1 触摸屏控制，菜单化操作，支持减薄程序的设定和存储。
2.6 观察系统
2.6.1 ★带有数码放大观察系统，放大倍数可调，最大放大倍数≥1500倍。
3 热镶嵌机
3.1 镶样单元
3.1.1 ★模具内径：30mm。
4 真空镶嵌机
4.1 工作腔
4.1.1 工作腔直径不小于250mm，高度不小于100mm。
4.1.2 整体透明，方便实时工作情况观察。
5 自动磨抛机
5.1 底盘
5.1.1 ★直径不小于300mm。
5.1.2 转速：调节范围不小于50～500rpm，步长≤10rpm。
6 振动抛光机
6.1 抛光盘直径≥300mm。
6.2 振动频率可调。其余详见本项目招标文件。

项目名称：上海交通大学分析测试中心材料电镜制样系统项目

项目编号：0773-1740SHHW7175

项目联系方式：

项目联系人：费雨薇 张莹莹

项目联系电话：021-66059798

采购单位联系方式：

采购单位：上海交通大学

地址：上海市闵行区东川路800号