一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
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包号
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品目号
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设备名称
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简要技术参数
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数量
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分包预算金额（人民币元）
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1
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1-1
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等离子耦合干法刻蚀机
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用于2-6英寸Si材料刻蚀
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1
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6,251,000
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1-2
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等离子增强化学气相沉积
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用于2-6英寸基底上SiN，SiO2
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1
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1-3
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等离子体干法刻蚀机
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用于2-6英寸SiO2，SiNx材料刻蚀
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1
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2
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2-1
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高密度等离子刻蚀机
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片内均匀度£ ±5%
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1
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4,500,000
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3
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3-1
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紫外光刻系统
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曝光波长范围：350-450nm
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1
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2,245,000
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4
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4-1
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半导体大视野高分辨二维观察系统
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电子束成像模式下最大视野范围不小于60mm
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1
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13,651,000
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4-2
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半导体微纳米器件制备系统工作站
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离子枪最大视野范围：580 x 580 μm
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1
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5
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5-1
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离子刻蚀镀膜仪
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具备平面大面积离子抛光、横截面离子抛光及高精度离子束镀膜
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1
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1,152,000
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6
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6-1
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电子束蒸发镀膜设备
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用6英寸基片（去除边缘5mm）镀膜均匀性优于+/-5%
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1
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1,900,000
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7
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7-1
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电子束光刻机
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扫描频率≥120MHz
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1
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30,240,000
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8
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8-1
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纳米测量显微镜
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包含激光共聚焦扫描功能及原子力扫描功能
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1
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1,880,000
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注：本项目共分8个包，投标人只可投完整的一包或多包，不允许将其中一包中的内容拆开投标。本项目接受进口产品投标。
？采购用途：清华大学天津电子信息研究院光电芯片集成工艺平台科研成果转化需求？。
项目名称：清华大学天津电子信息研究院光电芯片集成工艺平台设备购置项目
项目编号：CEIECZB01-17CS168
项目联系方式：
项目联系人：陈思佳、张涵睿、刘思远、杨硕
项目联系电话：010-59893115、59893117、59893118
采购单位联系方式：
采购单位：清华大学天津电子信息研究院
地址：天津市中新天津生态城中天大道1620号生态城科技园启发大厦
联系方式：闫青芝， yanqingzhi@tsinghua-eei.com
代理机构联系方式：
代理机构：北京中教仪国际招标代理有限公司
代理机构联系人：陈思佳、张涵睿、刘思远、杨硕，010-59893115、59893117、59893118
代理机构地址： 北京市海淀区文慧园北路10号，北京中教仪国际招标代理有限公司办公楼603室 |
