电镜能谱一体机 数量 1套

电镜能谱一体机由扫描电子显微镜、能谱分析仪（与电镜集成）、超声无损检测仪、喷金仪四部分组成。各部分具体技术参数如下：

一、扫描电子显微镜技术指标

1.工作条件

1.1 电源：110～240伏，50/60赫兹，300瓦。

1.2 温度：操作环境15℃～ 30℃。

1.3 湿度：<80%RH。

2.性能指标

*2.1 放大倍率：集成在电镜中的光学显微镜放大20～135倍，电子放大150000倍。

2.2 背散射电子探测器分辨率：优于8nm。

2.3 加速电压： 5kV-15kV连续可调，束斑直径大小可连续可调。

*2.4 灯丝材料：CeB6灯丝单根寿命：>1500h；灯丝仓与电子仓、样品仓三仓分离，观察绝缘体不影响灯丝寿命（设备电子枪标配是CeB6灯丝，不可后期由钨丝更改）。

*2.5 预抽真空时间：小于15s。

2.6 真空技术：且有真空分级技术,低真空观测灯丝寿命不受影响。

2.7 样品台移动控制方式：自动样品台控制，高清屏操作界面配合样品，具有X、Y坐标回位功能。

2.8 图像观测导航界面：内置光学显微镜光学导航界面与电子导航界面，实现鼠标点到哪看到哪，操作方便（必须是光学显微镜，不是摄像头，需提供内置在电镜内部的光学显微镜结构图证明图）。

2.9 检测信号：高灵敏度背散射电子探测器。

2.10 观察模式：全面模式(形貌和成份)、形貌模式A（3D）、形貌模式B（3D）针对已保存图片，选中保存图片，即可一键还原到原来位置，并还原图片原有参数。

2.11 真空系统：隔膜泵，涡轮分子泵。

*2.12 软件平台：Linux系统，对病毒免疫。

2.13 数据存储：移动硬盘或者电脑、网络存储。

*2.14 防震设计：对放置环境无特殊要求，无需额外的减震装置，可以随意搬至现场进行检测。

2.15 远程检测：具有终身免费远程诊断功能，通过联网专业工程师可随时远程诊断，低维修成本，提高响应效率。

二、能谱分析仪技术指标

*1. 集成能谱EDS。

*2. 探测器类型：硅漂移探测器（SDD）。

3. 探测器晶体活性面积：25mm²。

4. 冷却方式：无液氮 Peltier 效应制冷。

5. 能量分辨率：<135eV（Mn Kα）。

6. 元素探测范围：B（5）-Am（95）。

7. 元素分析：自动和手动元素确认。

*8. 能谱谱线拟合方式：反卷积拟合方式。

*9. 拓展软件系统：全景拼图功能。

三、超声无损检测仪技术指标

1. 采样间隔：0.1～200μS。

2. 工作温度：—20～+55℃。

3. 记录长度：0.5～4k。

4. 扫描速度：≥20次循环/秒。

5. 动态范围：≥100dB。

6. 发射电压：500V/1000V可调。

7. 频带宽度：1～500kHz。

8. 声幅准确度：≤3%。

9. 声时准确度：≤0.5%。

10. 接收灵敏度：≤10μV。

四、喷金仪技术指标

1．玻璃处理室：内径Ф 115mm×高度130mm。

*2．试样台尺寸：内径Ф 40mm，可同时放六个样品杯。

*3．金靶尺寸：Ф58mm×0.12mm。

4．真空系统：直联旋片真空泵，2升/秒。

5．真空检测：皮氏计。

6．真空保护：20PA配有微量充气阀调节工作真空。

7．工作电源：220 VAC 50Hz。

8．定时开关：控制溅射时间，范围为10～110S。

9．可用靶材：金靶（随机自带），铂靶，镍靶。

10．工作气体：空气或氩气。

11．产品尺寸：400mm × 500mm ×（高度）400mm （带玻璃罩）。