项目名称：南京大学磁控溅射镀膜系统
项目编号：ZB2017HW203
报名联系人：王老师
联系电话：025-89688969
南京大学招标办公室根据国家法律法规和学校管理要求，拟以公开招标方式采购磁控溅射镀膜系统 ，欢迎符合资质的供应商参与本招标采购项目。
一、项目简要说明
项目内容： 磁控溅射镀膜系统
项目预算：540000 元
磁控溅射镀膜系统 招标要求
一、技术参数要求
1、真空腔体：直径与高度均不小于400mm，304优质不锈钢制造；
2、真空系统：采用一套“磁悬浮分子泵+涡轮干泵”真空系统，需国际知名厂商的原装进口产品；涡轮干泵抽速：不小于8L/S；磁悬浮分子泵抽速不小于：550L/S；
3、真空极限：优于5.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）；
4、旋转、水冷、加热基片台，基片台尺寸不小于：Φ100mm；加热温度上限：不低于350℃；基片台可通冷却液降温（温度范围-30°C至室温）；
5、磁控溅射靶源：三英寸圆形平面靶，不少于三只，其中两只磁控靶需采用国际知名厂商的原装进口产品。磁控靶RF、MF、DC兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板结构。
6、基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源；
7、磁控溅射电源：射频电源采用国际知名厂商原装进口产品，功率不低于600W；直流溅射电源：采用直流脉冲电源，功率不低于1000W；
8、配有质量流量控制器三路，供Ar、N2、O2气体使用；
9、配备有循环水冷机和空气压缩机；
10、 采用全自动控制方式，可利用工控电脑执行镀膜程序，自动完成整个镀膜过程；
11、 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。
二、供应商特殊资质要求
1、供货厂家要具备有ISO9000认证证书；
2、供货厂家要有类似设备销售业绩证明5份；
三、商务要求
1、质保期：不少于1年；
2、交货时间：签订合同三个月内
3、培训要求：培训时间不少于一周；
地点：卖方现场；费用：卖方免费培训；
二、投标人的必备资格要求
1 、投标人具有独立法人资格，具有良好的商业信誉、健全的财务会计制度、履行合同所必需的设备和专业技术能力，并有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
2 、投标人不得有下列行为：
①有违反法律、法规行为，依法被取消投标资格且期限未满的；
②因为招投标活动中有违法违规和不良行为，被有关招投标行政监督部门公示且公示期限未满的；
③处于被责令停业或者财产被接管冻结和破产状态；
④企业有因骗取中标或者严重违约以及发生重大工程质量、安全生产事故等问题，被有关部门暂停投标资格并在暂停期内的。
⑤2014 年1 月1 日起至今被国家财政部指定的信用记录查询渠道（“信用中国”网站www.creditchina.gov.cn ）列入失信被执行主体、重大税收违法案件当事主体、政府采购严重违法失信行为当事主体等严重失信记录名单的。
3 、法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司，都不得同时投标，否则取消其投标资格。
4 、本次招标执行政府强制采购节能产品、鼓励环保产品、扶持福利企业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区以及限制采购进口产品等相关政策。
5 、本项目不接受联合体报名。
三、投标报名或资格预审必须提供的文件
1 、企业法人营业执照、组织机构代码证、税务登记证（三证合一的提供营业执照）。
2 、开户银行许可证或银行出具的资信证明（近三个月内）。
3 、若投标人不是制造商的，投标人应提供下列授权文件之一：（1 ）制造商出具的授权函；（2 ）制造商的国内全资子公司出具的授权函；（3 ）制造商对授权的区域（含南京市）代理商出具的授权函复印件（加盖区域代理商和供应商公章）及该区域代理商出具的授权函正本；但区域代理商为南京公司的，本项目不接受转授权。（4 ）投标人取得的产品代理证书。
4 、非法人代表前来报名的，提供法人代表授权委托书、投标人为授权代表缴纳的最近半年养老保险金缴费清单材料原件，加盖社保中心公章（可使用互联网版本）。
四、报名方式
本项目接受邮件报名。请在 6 / 30 /2017 16 ：00 前将投标申请表（见下表）以邮件正文 形式发至：bid@nju.edu.cn ，同时附件添加本公告第三条所列文件（加盖公章）扫描件；报名邮件主题统一为：ZB2017HW203 南京大学磁控溅射镀膜系统 。因报名邮件主题不符合要求导致报名信息未能被统计，本招标机构概不负责。
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投标申请表
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项目名称
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招标编号
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投标单位
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投标单位所属行业性质
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投标联系人
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联系手机号
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电子邮箱
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申请时间
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* 注：投标单位所属行业性质是指工业、批发业、零售业、信息传输业、软件和信息技术服务业等行业名称；投标单位规模划分参照《关于印发中小企业划型标准规定的通知》（工信部联企业[2011]300 号），大型、中型和小型企业须同时满足所列指标的下限，否则下划一档；微型企业只须满足所列指标中的一项即可。
潜在投标商如有技术疑问，请直接将相关问题发送至报名邮箱，本招标机构不再接受电话咨询；关于“邮件是否查收”、“标书是否送达”等非技术问题，可于工作日16:00-16 ：30 来电咨询，其他时间概不受理。
五、其他事项
1 、本项目招标采购信息发布媒体：南京大学招标办公室主页。
2 、本招标采购事宜的解释权属于南京大学招标办公室。
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