Gold

黄金靶Au

SEM镀膜中使用最广泛的一种靶材，非常适合于冷态溅射的镀膜仪（如108系列）使用，对热敏性样品不会产生伤害。但在高倍SEM下，可以看到金属颗粒。

Gold/Palladium

金钯合金靶Au/Pd

溅射率比纯黄金靶的低. 在蒸发镀膜时，颗粒比纯Au的要小。不是很适合热敏性样品镀膜和EDS分析镀膜（由于有两个镀膜材料峰值）。

Palladium

钯靶Pd

在低放大倍数时，可做低成本镀膜材料使用。较低的SE信号.

Platinum

铂靶Pt

金属颗粒细，但比AU的溅射率要低。容易产生应力断裂现象。价格贵，SE产率高。适合FESEM

Platinum/Palladium

铂钯合金Pt/Pd

颗粒大小和Pt差不多，但应力断裂的敏感度要低些。非常适合FESEM.

Silver

银靶Ag

低放大倍数时的一种低成本靶材. 颗粒比AU大，适合台式SEM使用。低SE产率。如果样品没有在真空环境下保存，则会有氧化变色。适合EDS使用。

Chromium

铬靶Cr

非常细的颗粒，适合FESEM。为防止氧化，需要在如208HR等高真空环境下镀膜。镀膜后的样品需要存放在高真空环境中。非常适合生物样品的BE成像。溅射产率低。

Iridium

铱靶Ir

非常细的颗粒，对于FESEM样品来说，是一种很好的全能性镀膜材料。需要在208HR等高真空镀膜仪上镀膜，溅射速率慢。

Tungsten

钨靶W

可替代Cr，非常细的颗粒，但氧化速度非常快。低溅射产率。

Nickel

镍靶Ni

可用在EDS上，不适合SE成像，适合BE成像。低溅射产率。镀膜易氧化。

Copper

铜靶Cu

可用在EDS上，适合中低放大倍数SEM使用。