项目概况

清华大学扫描电子显微镜 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年07月26日 10点30分（北京时间）前递交投标文件。

 

一、项目基本情况

项目编号：清设招第2022155号

项目名称：清华大学扫描电子显微镜

预算金额：450.0000000 万元（人民币）

采购需求：

设备用途介绍：该仪器设备主要用于微观形貌表面分析及表层元素分析，主要涉及以下工艺研究：图形化工艺，关键线条观测，SOG陀螺、Si工艺深硅刻蚀结构剖面观测，SOG压力计硅杯结构观测，硅通孔TSV工艺, 深刻蚀硅通孔侧壁及绝缘层种子层厚度观测。

简要技术指标：

1）电子枪基本参数：二次电子分辨率≤1.0nm@30kV，≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV（分辨率测试条件：无样品台减速模式下多边统计法测试）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均不小于0.02-30kV，加速电压以10V为步进，连续可调；

2）放大倍率可调范围不小于10×- 2,000,000×，根据加速电压、工作距离变化放大倍数可自动校准；

3）电子束流可调范围不小于3pA～20nA；

4）电子束成像模式下，最大成像视野宽度≥55mm（最大工作距离条件下），并且可通过大视野成像图像进行大尺寸样品或多样品导航功能；

5）在电子束减速模式下可倾斜样品台观察不导电样品侧壁结构，实现不导电MEMS器件样品的侧壁形貌观察；

6）配置镜筒内高分辨二次电子探测器和样品室内二次电子探测器；配置样品室内背散射电子探测器，用于样品成分衬度和晶体取向衬度成像；配置样品电流探测器，电流检测范围不小于1pA~10A；配置用于实时观察样品室内情况的红外CCD相机探测器；

7）配备前级无油机械干泵、分子泵、离子泵，电子枪真空度≤5×10-7 Pa，样品室工作真空度≤3×10-4 Pa；

8）配置样品仓内安装的在线等离子清洗仪附件，可清洗样品仓内由光刻胶等样品引起的污染，也可以清洗样品指定位置的污染；

9）供应商需提供全新设备，不允许是翻新设备。

合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。

三、获取招标文件

时间：2022年06月30日  至 2022年07月07日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

方式：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn

售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2022年07月26日 10点30分（北京时间）

开标时间：2022年07月26日 10点30分（北京时间）

地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

无

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：清华大学　　　　　

地址：清华大学华业大厦1区5层实验室管理处　　　　　　　　

联系方式：李美珍，62785713；肖天鹏，62780052（技术咨询）　　　　　　

2.项目联系方式

项目联系人：李美珍

电　话：　　62785713