应用： 主要应用领域包括接触孔的填充；光及磁数据存储； 催化等方面以及

纳米团粒基础性的研究

*型号：NANODEP60

*市场上首创专用于纳米团粒(金属材料；磁性材料；半导体

材料等团粒)沉积超高真空系统

*可实现在沉膜过程中纳米团粒尺寸的剪裁和监控

**纳米团粒沉积真空系统依客户应用要求实现多元化配置组合