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KSV-2000 I型：
膜天平测量范围： 0 - 250 mN/m
膜天平分辨率： 4 μN/m
有效槽表面积： 530 mm X 150 mm
亚相体积： 0.75升
亚相温度范围： 0 - 60℃
滑障压缩速度： 0.01 mm - 800 mm/min
KSV-2000 II型：
沉积速度： 0.1 - 85 mm/min或 0.2 - 170 mm/min
速度调节： 0.1 mm/min
沉积次数： 无限次
延迟时间： 1 - 9999秒，可调
浸渍马达： 直流伺服电机
亚相体积： 0.95升
最大基片尺寸： 100 mm X 100 mm
浸渍井尺寸： 37（W）X 116 (L) X 93 (D)mm3
沉积行程： 145 mm
（其它指标与KSV-2000 I型相同）
KSV-2000 III型：
槽表面积： 775 mm X120 mm，两个
亚相体积： 5.5升
运行电压： 90 - 264 V, 50/60 Hz
（其它指标与KSV-2000 I型和KSV-2000 II型相同）
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