应用： 裂解多种气体如氢气；氧气；氢化物；氯气；氨气和碳氢化合物，用于氧化物，氮化物等薄膜的生长，基片表面零损伤氢清洗及原子氢、氯的反应刻蚀

*型号：TC50 (单裂解区)和TC4X50 （四个裂解区）

*低气耗，低系统热载和超高效水冷

*低功耗，高裂解率（ 功率60W 温度低于1000度时裂解率高于70%）

*双抗氧化灯丝适于长工时操作

*低气耗，低系统热载和超高效水冷

*双抗氧化灯丝适于长工时操作

*低功耗，高裂解率（ 功率60W 温度低于1000度时裂解率高于70%）