应用：单元，多元及多元组合（多至四种材料）共蒸发多种材料获得超纯薄膜沉积。

*多种型号可选: EGN1;EGN4;EGCO4;H-PEB4

单电源供电，四种材料共蒸发下各种材料蒸发速率独立可调。根据应用需要，多数材料

蒸发速率可控低与0.1A/min 或高于300A/min

*高效直接水冷源体，低系统热载避免环境放气及粒子生成

*蒸发材料可为棒材或粉抹

*多元蒸发材料源体设置防交叉污染隔板及挡板，手动和自动控制模式可选

*实时蒸发束流的监测和控制