应用：领域包括样片的离子抛光、减薄、清洗等

*型号：IM150

*可兼容射频离子源RF50或RF150的真空系统（未烘烤下的真空度可达到10-8 mbar）

*配备角度可调且可旋转的水冷样品架

*便捷的前门装载基片方式

**离子束抛光真空系统依客户应用要求可实现多元化配置组合

*型号：IM150

*可兼容射频离子源RF50或RF150的真空系统（未烘烤下的真空度可达到10-8 mbar）

*配备角度可调且可旋转的水冷样品架

*便捷的前门装载基片方式

*离子束抛光真空系统依客户应用要求可实现多元化配置组合