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 离子束抛光真空系统

离子束抛光真空系统


英国牛津应用研究公司

 
 
应用

应用:领域包括样片的离子抛光、减薄、清洗等

 
技术指标

*型号:IM150

*可兼容射频离子源RF50或RF150的真空系统(未烘烤下的真空度可达到10-8 mbar)

*配备角度可调且可旋转的水冷样品架

*便捷的前门装载基片方式

**离子束抛光真空系统依客户应用要求可实现多元化配置组合

 
特点

*型号:IM150

*可兼容射频离子源RF50或RF150的真空系统(未烘烤下的真空度可达到10-8 mbar)

*配备角度可调且可旋转的水冷样品架

*便捷的前门装载基片方式

*离子束抛光真空系统依客户应用要求可实现多元化配置组合

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