应用：用于离子辅助沉积；离子束溅射沉积；离子束剥离与刻蚀 和样片表面修饰
*型号：DC25; DC150
*束流能量：0-1 Kev
*高束流（40mA for DC25 and 300mA for DC150）
*高束流均匀性
*操作程式简单
*牢固的源体结构和极低维护需要
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