Critical Dimension (CD)校准标样
Critical Dimension (CD) Calibration Test Specimens
适用SEM、FIB、AFM
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尤其适用于SEM / FIB放大倍数校准，亦可用于校准AFM。使用高性能SEM或FIB的显微学家和工程师将会发现这款标样非常有用。该标样于4.8 x 4.8mm硅片上含系列条纹，款式分三种：
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CD 10-5-2-1-0.5um：
中心区含五组条纹，条纹间距被清楚地标记，分别为：10.0um、5.0µm、2.0µm、1.0µm、 0.5µm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成，深约200nm。Si表面无镀层。根据认证与否，分两种：
-未认证
- PTB（Physikalische Technische Bundesanstalt - German counter part of NIST）认证，独立编号
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产品代码
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描述
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单位
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618-5
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未编号，不含样品座
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个
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618-7
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证可溯源，不含样品座
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个
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618-5A
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座A
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个
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618-5B
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座B
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个
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618-5C
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座C
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个
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618-5D
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座D
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个
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618-5E
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座E
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个
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618-5F
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座F
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个
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618-5G
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座G
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个
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618-5K
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座K
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个
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618-5L
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座L
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个
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618-5M
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座M
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个
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618-5O
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座O
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个
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618-5P
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，未认证，含样品座P
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个
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618-7A
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座A
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个
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618-7B
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座B
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个
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618-7C
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座C
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个
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618-7D
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座D
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个
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618-7E
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座E
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个
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618-7F
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座F
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个
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618-7G
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座G
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个
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618-7K
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座K
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个
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618-7L
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座L
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个
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618-7M
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座M
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个
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618-7O
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座P
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个
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618-7P
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CD 10-5-2-1-0.5µm标样，认证，含样品座P
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个
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CD 500-200-100nm:
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这种精准的CD标样适用更小尺度的校准。CD 500-200-100nm标样含三组条纹，条纹间距被清楚地标记，分别为500nm、200nm、100nm。中心条纹区可用于AFM测量。条纹通过蚀刻方式在硅表面形成，深约45-50nm 。Si表面无镀层。
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产品代码
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描述
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单位
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618-4
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CD 500-200-100nm标样，未认证，不含样品座
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个
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618-4A
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座A
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个
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618-4B
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座B
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个
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618-4C
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座C
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个
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618-4D
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座D
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个
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618-4E
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座E
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个
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618-4F
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座F
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个
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618-4G
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座G
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个
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618-4K
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座K
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个
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618-4L
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座L
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个
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618-4M
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座M
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个
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618-4O
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座O
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个
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618-4P
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CD 500-200-100nm标样，未认证，含样品座P
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个
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