MetroChip显微镜校准标样

适用SEM、FIB、AFM及光学显微镜。

MetroChip校准标样置于750µm 厚、20x20mm的芯片上。在作SEM校准时，可以得到高对比度图像，充电效应最低，校准范围宽，由4mm至100nm。校准内容包括：对中标记、线性微刻度、变形测量、图像偏移、分辨率、像散校正等。该集成式设计使MetroChip成为SEM、FIB和FESEM校准的理想标样，它亦可用于光镜和AFM校准。Microscope MetroChip 校准标样溯源至NIST认证。