仪器由倒置式改为正置式，更符合人们的操作习惯；
应用CMOS代替CCD，省去图象卡并提高了质量；
用低压电源代替高压电源，节省了仪器成本；
用国产的代替德国进口压电陶瓷，解决了关键部件的进口难题；
增加了自动步距和亮度校正程序，同时增加了局部放大三维立体图功能；

 表面微观不平深度测量范围                        130?1nm
  测量的重复性：                               sRa≤0.5nm
  测量精度                                            8nm
  物镜倍率                                            40X
  数值孔径                                            0.65
  仪器视场  目视                                  f0.25mm
            摄象                              0.13X0.13mm
  仪器放大倍数  目视                                500X
                摄象（计算机屏幕观察）              2500X
  接收器测量列阵                                1000X1000
  象素尺寸                                      5.2X5.2?m